洛阳中硅高科攻克9N级电子特气技术｜国产芯片材料实现进口替代突围

导语
【国产芯片材料重大突破】中国电子化工领域迎来里程碑进展！洛阳中硅高科技有限公司近日宣布，其自主研发的"硅基材料超高纯制备关键技术"通过国家级科技成果认证，成功打破美日德长达20年的技术垄断，国产电子特气材料正式迈入国际第一梯队。

"卡脖子"破局：芯片制造用上国产"工业血液"

作为芯片制造的核心基础材料，超高纯硅基材料（含电子级三氯氢硅、四甲基硅烷等）被称为"芯片工业的血液"。此前我国90%依赖进口，单价超5万元/公斤，且面临随时断供风险。中硅高科联合清华大学、浙江大学等机构历时5年攻关，首创分子筛深度提纯技术，实现纯度达99.9999999%（9N级）的突破。

核心技术突破：纯度达9N级创全球新高

• 技术指标：电子级三氯氢硅纯度超国际标准，适配28纳米以下先进制程

• 专利布局：累计申请发明专利56项，构建从提纯设备到检测的全链条技术壁垒

• 产线建设：建成国内首条全自主电子特气生产线，年产能突破2000吨

国产替代效应：成本直降40% 覆盖中芯/长存等大厂

目前该技术成果已在中芯国际、长江存储等头部芯片企业实现规模化应用：
✓ 存储芯片良品率提升12%
✓ 5G射频器件生产成本降低40%
✓ 年替代进口材料超800吨
据测算，全面国产化后每年可节省外汇超50亿元，保障国内3000亿芯片产业链供应安全。

院士点评：国际先进水平 加速培育新质生产力

中国工程院专家组认证显示，该技术整体达国际先进水平，其中：
▶ 电子特气纯度指标全球领先
▶ 设备国产化率超95%
▶ 能耗较传统工艺降低30%
"这是国产芯片材料从跟跑到领跑的关键转折。"项目评审组长表示。

企业动态
中硅高科透露，计划投资20亿元建设亚洲最大电子材料产业园，2026年前实现12英寸晶圆用材料全覆盖，助推"中国芯"国产化率从15%提升至35%。